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洁净室的静压差的专业测定方法
浏览次数:1297 次  发布时间:2023-02-04  
    洁净室的静压差是做好洁净室后必须要测量的一个参数,也是验收的一个标准,那么专业的洁净室设计厂家应该怎样测定洁净室的静压差呢?
    此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内外气流间被污染。
    (1)检测要求
    ①静压差的测定要求在洁净区内的所有的门全部关闭情况下进行。
    ②在洁净室平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间
    ③测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。
    ④所测量记录的数据应精确到0.1Pa。
    (2)检测方法
    ①先关闭所有的门。
    ②用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。
    ③记录所有数据。
    (3)测量仪器
    采用YJB-150补偿微压计,量程0~1500Pa或其他微压力计,仪表灵敏度小于0.1Pa
    (4)合格标准
    按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
    ①不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于4.9Pa
    ②洁净室(区)与室外的静压差,不应小于9.8Pa。
    ③对于空气洁净度等级严于5级(100级)的单向流洁净室在开门时,门内0.6m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
    ④若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量,排风量,至合格为止。


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