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| 洁净室的防静电与防火防爆 |
| 浏览次数：1334 次 发布时间：2021-08-14 |
一、洁净室的静电和静电的消除
1、静电的危害
a、静电产生电场能击穿电子和微电子产品造成废品；静电放电产生电磁波会引起电子仪器（计算机和控制设备）的误动作，放电产生火花可使感光材料曝光。
b、洁净室内静电的带电体，灰尘会依附在其表面，成为洁净室的污染源，影响洁净室的洁净度。
c、洁净室的静电聚集放电会诱发引起火灾和爆炸影响洁净室的安全。因为洁净室内生产会使用大量的易燃易爆的气体，溶剂和有机物，洁净室封闭性很强，人员疏散较困难造成火灾，损失更大。
2、静电的起因
由于某种原因引起电荷移动，正负电荷失去平衡，这样物体就带有静电，造成电荷移动的因素主要有：
a、接触带电：其中还包括有磨擦带电、滚动带电、剥离带电、喷射带电等。
b、感应带电
c、流动带电
d、电晕带电
3、防静电措施
a、洁净室围护的防静电：即用高导电率材料来建造洁净室的围护（墙、顶、地）地面要采用由电阻值为104~106Ω导静电材料或电阻值为106~109Ω的抗静电材料制作。主要有良好的接地。墙和顶要采用表面电阻值为106~108Ω的铝蜂窝或岩棉彩钢板等金属材料制作。并要有良好的接地。
b、人员的防静电：洁净室的作业人员要穿防静电的洁净工作服，在衣服的织物中加入金属纤维、碳素纤维等导电材料。必要时作业人员手腕上配带接地腕环。
c、生产工艺允许时还可以用提高洁净室内空气的相对湿度的办法来消除静电。
二、洁净室的防火和防爆
1、洁净室防火的重要性
（1）洁净室是密闭厂房。一般情况下不设外门、外窗，越是净化级别高其位置越在核心中间部位的无窗密闭厂房。如果出现火情，不仅财产会受很大损失，更重要的是人员难以疏散会有人员的伤亡。
（2）洁净室是重要的科研和生产场所，生产会使用大量的易燃、易爆的气体、溶剂和有机物质，同时也还会使用大量的有毒有害物质，一旦发生火灾，后果不堪设想。
（3）洁净室是为高科技服务，不仅仅洁净室本身的建造费用高（2000~10000元/m2），而且洁净室内的生产设备的价格更高，有的微电子设备每台都数百万美元。如果发生火灾，财产损失惨重。集上述一些因素，洁净室的防火是十分重要的。
2、洁净室的防火措施
（1）建筑结构的材料应用不燃材料制作。洁净室的装修材料也应采用不燃材料制作。应严格按“洁净厂房设计规范”中5.2“防火和疏散”一节的要求执行。
（2）生产工艺要尽量不用和少用易燃易爆的原材料。如果必须使用，尽量采取密封措施不散放出来，并且加强通风换气。工艺生产使用易燃易爆气体时建议在气源瓶和使用设备中间加一个“中间分配箱”，使正常情况下是与易燃易爆有毒有害气源是处于断开的状况。
（3）采取必要的报警和灭火措施
1）加强早期报警。采用空气采样器和感温探头系统联合进行报警，实现对阴火和明火的早期报警（空气采样器对阴火非常敏感，感温探头对明火非常敏感）。
2）设置室内外消火栓和洁净室自动喷淋灭火系统。
①洁净室应有完善的室外消火栓灭火系统。
②在洁净室的室内和上技术夹层、下技术夹层均设置完善的室内消火栓灭火系统和预作用水喷洒灭火系统。在正常情况下预作用喷洒系统管道内是充满压缩空气，当探头报警后，该系统启动水泵并排气充水，当火灾发生后，着火处烧破玻璃泡水自动喷洒出来灭火。
3）设置疏散排烟系统
①按“洁净厂房设计规范”GB50073-2001要求洁净室的疏散走廊应设排烟或防烟系统保证人员的疏散安全。
②利用工艺设备的排风系统和空调净化系统兼作火灾时的排烟系统以利人员疏散目的。
③按消防部门或保险单位的要求，必要时还要设计洁净室的全面排烟系统。
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