大多数测试标准关于高效过滤器泄漏率的接受标准是，可接受的泄漏限度最终由客户和供应商共同确定。但是，对于使用HEPA过滤器或不同级别洁净区的许多应用，大多数采用≤0.01％的扫描测试泄漏标准。尽管0.01％的泄漏率在历史上已经使用过，并且其起源与早期的模拟光度计测试设备相关联，
但在没有进行科学和基于风险的评估的情况下，将0.01％的泄漏率标准作为可接受标准将导致与泄漏测试有关的问题，并且如果在低风险区域发现超限或失败情况，将可能会带来巨大的运营成本。过滤器不是100％截留的，并且预计MPPS附近的粒子在过滤器局部或整体可以穿透。当使用较低级别的HEPA过滤器时，工厂进行的MPPS或MPPS附近粒子的可接受泄漏率标准可能等于或大于现场泄漏率测试的接受标准，测试接受标准会变得更具争议和困难。在可能发生泄漏的地方尤其如此。因此，在购买过滤器时，考虑过滤器的等级以及安装后如何进行测试非常重要，以避免不必要的现场测试失败。
ISO14644-3提供了有关如何实施泄漏替代标准的指南。在基于风险的方法中，理想的接受标准是，该接受标准可以反映所使用过滤器的效率或所测试房间的洁净度。ISO14644-3使用工厂过滤效率等级作为接受标准协商的基础。光度计泄漏测试和基于粒子计数器的泄漏测试的泄漏接受标准应该相同，因为两种方法背后的理论和方法是相同的。如果执行得当，使用光度计和粒子计数器进行的泄漏测试将得到相同的泄漏率结果。
如果检测到的泄漏量超过上游浓度的0.01％，一般认为该泄漏率超过最大允许标准。但是，对于整体效率MPPS≥99.95％且小于99,995％的过滤器系统（如H13过滤器），接受标准为0.1％。
如果要测试MPPS整体效率低于99.95%的过滤系统，则根据客户和供应商之间的协议，需要不一样的接受标准。
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