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案例名称:半导体行业千级无尘室
详细信息:

半导体行业千级无尘室也叫千级无尘室

目前本公司已和TCL多媒体科技控股有限公司合作

千级无尘室

 

无尘室净化原理 

气流初效空气处理空调中效空气处理风机送风净化管道高效送风口洁净室带走尘埃(细菌)  回风夹道新风、初效空气处理。

重复以上过程,即可达到净化目的。

无尘室技术参数

换气次数:十万级1015/小时;万级1525/小时;千级5052/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s。 压差:主车间对相邻房间≥5Pa。 温度:冬季>16±2;夏季 <26±2
相对湿度:4565%(RH);噪声≤65dBA);新风补充量:总送风量的20%-30%; 照度:≥300Lux

无尘室结构材料

1.无尘室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。无尘室门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
2.无尘室地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。
3.无尘室净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF"阻燃型的保温板做保温。

无尘室无尘室空气中悬浮粒子洁净度等级:

等数ISO空气洁净

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(P/m -空气)

洁净等级美国联邦209E

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

ISO Class1

10

2

 

 

 

 

 

ISO Class2

100

24

10

4

 

 

 

ISO Class3

1000

237

102

35

8

 

1

ISO Class4

10000

2370

1020

352

83

 

10

ISO Class5

100000

23700

10200

3520

832

29

100

ISO Class6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000

ISO Class7

 

 

 

352000

83200

2930

10000

ISO Class8

 

 

 

3520000

832000

29300

100000

ISO Class9

 

 

 

35200000

8320000

293000

300000

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