1 测试目的
通过对洁净室内已安装的高效过滤器进行PAO检漏，确认高效滤器的完整性及其安装的密封性。
2 测试方法：PAO法。
3测试状态与前提条件
u 静态;
u 已完成风量/风速测试，结果符合规定;
4 合格标准
受检高效过滤器测得的穿透率的最大值不得大于“出厂合格穿透率”的2倍。
注1：“出厂合格穿透率”可通过受检高效过滤器铭牌上标注的过滤效率换算而得。
K=1-α
式中 K――出厂合格穿透率
α--铭牌上标注的过滤效率。
注2：本次检测的高效过滤器铭牌上标注的过滤效率为 ，换算成“出厂合格穿透率”为 。故本检漏的合格标准为：测得的穿透率≤ 。
5 测试操作
5.1准备工作
卸下高效过滤器的散流板，对箱体和框架进行清洁，避免积尘对检测产生干扰。
准备好惰性气体的气源(通常使用氮气)。
5.2气溶胶烟雾的引入
用外径为1/4的塑料管将气溶胶发生器的惰性气体入口与装有压力调节阀的氮气瓶出口连接。
将气溶胶发生器的安放在空气净化系统风机柜的中效后面(若中效过滤器后面没有空间，需拆除中效后放置)。
气溶胶发生器通电加热，使温度达到393.3℃￣404.4℃。开启喷嘴调节阀，开启氮气源及其调节阀，调节气溶胶烟雾的输出量。
5.3参数设定
气溶胶光度计初始化、0%参比标准值设定。
100%基准的设置：将采样管穿过预留或现场新开的验证孔，一端与上游(高效过滤器进风侧)采样口连接，另一端与气溶胶光度计接通，测定上游气溶胶浓度。调节气溶胶发生器输出阀的开合度，直至确认上游浓度达到10-20μg/L，将此基数设定为100%。
注：如果高效过滤器已预留验证孔，则每个高效过滤器扫描前，先进行100%基准的复核。如果高效过滤器没有预留验证孔，则选择主风管末端有代表性的高效过滤器开孔做行100%基准的设置点。对支管上再分支的高效过滤器，测试时，开孔单独进行100%基准的复核和设置。
5.4光度计扫描
用光度计的采样头对整个高效过滤器的工作面(包括滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间)进行扫描。扫描时，采样头离过滤器距离约2-4cm，速度约在3-5cm/s之间。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警灯闪烁和/或报警声，表明有泄漏。
注意：扫描过程中避免箱体上的积灰干扰，尤其是采样头不能接触高效风口箱体或过滤器的框架。
6测试结果
各洁净室高效过滤器测得的穿透率数据，及检测结果示意图详见第 页～第 页之记录。
7结果分析
本次检测对 车间 级区 个房间 个已安装高效过滤器进行了泄漏测试，测试数据证明：该区域已安装的高效过滤器的完整性和安装的密封性
□符合相关标准的要求，可以投入使用;
□部分高效过滤器泄漏，需更换后重新测试;
□部分高效过滤器与静压箱连接的边框泄漏，需拆卸重新安装或采取相应的密封措施后重新测试;
二 洁净区高效过滤器检漏测试
摘要目的：准确检测高效过滤器的质量，以避免高效过滤器泄漏，影响生产。方法：用尘埃粒子计数嚣检测高效过滤器是否有泄漏现象。结果：检测各点的悬浮粒子若超出洁净区要求的范围则有泄漏现象，需堵漏或更换。结论：本法操作简便、准确。
关键词：洁净区;悬浮粒子;高效过滤嚣
中圈分类号：R914.2 文献标识码：A 文章编号：1006—2882{2006}02—111—02
在洁净室中，高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此，高效过滤器安装或更换后，必须对过滤器的安装连接处进行检漏，以确保洁净室的洁净度符合要求“ 。洁净度百级状态下悬浮粒子最大准许数为≥0.5~tm3500个/。
1 仪器
尘埃粒子计数器苏州市长春电子仪器厂CU —BⅡ型
2 实验原理
应用光散射原理，计数测定时利用光电倍增管接受尘埃粒子反射的光以测定其大小和数量，并加以分析累计及数字显示。
3 实验方法
3.1 环境条件：温度控制在18—26℃ ;相对湿度控制在45—65%
3.2 测试状态：静态测试，室内测试人员不得多于2人。
3.3 压差：针对室内不同洁净度房间而言，静压差 5Pa，洁净区与非洁净区之问静压差 10Pa;对工艺过程中产尘量大的房间与其他房间应保持相对负压。
3.4 测试方法
3.4.1 将尘埃粒子计数器用注射用水及75%酒精擦试消毒后再经紫外线照射30分钟传入洁净区。
3.4.2 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。
3.4.3 打开电源。仪器进行tl检、选项后，把测量塑料管从后面板上拔下。端口放置在需要测量的位置
3.4.4 检测时采样头离高效过滤器2—4aTl ，沿高效过滤器内边框及中间缓慢扫描，每块高效过滤器至少测试出5个点，观察显示数据。测试完毕后，将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行tl检。然后关闭电源。
用尘埃粒子计数器测定百级洁净区高效过滤器结果见表1
4 结论
通过以上测定可以看出3号高效过滤器有泄漏现象。需进行堵漏或更换，过滤器修理或更换后必须重新进行测试。在正常条件下一般每年至少做一次对高效过滤器检漏测试看是否发生变化。它是洁净度试验的重要组成部分。
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